外形寸法/4853(L)x1400(W)x1613(H)mm
対応基板寸法/PCB　50×120-350x450mm
パスライン/950mm±20mm
装置重量/約1500kg

電源/三相　AC200V メインブレーカー100A 34kVA
コンベア本体の必要排気量/40m³/min
エアー/0.5MPa 30NL/min
窒素/0.5MPa 330NL/min

外形寸法/4020(L)x1320(W)x1623(H)mm
対応基板寸法/50(W)x100(L)mm-400(W)x500(L)mm
パスライン/750mm±20mm
装置重量/約1,500kg

電源/三相 AC200V, 50/60Hz, 27kVA
ダクト必要排気量/15m³/min （1箇所当たり）
エアー/0.5MPa 30NL/min

外形寸法/1352(L)x1180(W)x1222(H)mm
対応基板寸法/50(W)x100(L)mm-400(W)x450(L)mm
パスライン/750mm±20mm
装置重量/約300kg

電源/三相 AC200V±10%, 2kVA
ダクト必要排気量/15m³min （1箇所当たり）
エアー/0.4-0.5MPa 100NL/min