外形寸法/1761(L)x1191(W)x1331(H)mm
対応基板寸法/50(W)x50(L)mm-380(W)x460(L)mm
装置重量/約350kg

電源/単相　AC200V 4kVA
エアー/0.4-0.5MPa　50NL/min
窒素(純度99.99%以上)/0.4-0.5MPa　25NL/min
フラクサー/2流体ノズル
フラックスタンク容量/0.3-0.4L(最大容量)